Utilisation | recuit, trempage, durcissement, dépôt des semi-conducteurs à des températures comprises entre 800 °C |
---|---|
Température Tmax | 1200 degrés C |
Température de fonctionnement | 1100 degrés C |
Taille de la chambre | D1100xW600xH1000mm/44x24x40′′ |
Matériel de chambre | Briques à haute teneur en aluminium JM26# |