La station de travail du four à tubes CVD à zones multiples est constituée d'un four à tubes à zones multiples de chauffage, d'une station de contrôle du débit de masse de gaz de précision,unité de pompe à vide élevé et d'autres pièces d'assemblage telles que le tube de fourTmax 1200°C, le taux de vide ultime atteint 10^-7 torr avec les unités de pompes à vide moléculaire.La station de contrôle du débit de gaz de masse mélange trois ou plusieurs types de gaz et introduit le gaz mélangé dans un tube de quartz ou des tubes métalliques à l'intérieur du four.Le four à tubes multi-zones est compétent pour les expériences telles que la CVD, la diffusion et d'autres traitements thermiques sous vide et sous protection atmosphérique.
Vue avant pour le four rotatif à tubes de 1200C
Le numéro de modèle. | Le montant de la subvention est calculé en fonction des coûts de production. |
Zone de chauffage |
Quatre zones de chauffage |
Énergie électrique | 15 kW AC380-415V, 50/60Hz, à trois phases |
Température de fonctionnement |
Tmax 1200°C (2192°F) |
Régulateur de température |
Le village de ShimadenContrôleur PID |
Taux de chauffage | ≤ 25°C /min |
Particules de chauffage électrique | Type N |
Parement de la chambre | Matériau de base de Mitsubishiplaque à haute teneur en aluminium 1500# |
Tubes de four |
Matériau: quartz ou métal |
autres appareils de traitement de l'air |
autres appareils pour la fabrication de lames |
Niveau de vide |
Max 10E-7 torr avec pompe moléculaire |
Élément de chauffage |
Fil de bobine de résistance HRE |
Informations sur l'expédition | Poids: 660 kg Les mesures de sécurité doivent être appliquées conformément à l'annexe I, partie II, du présent règlement. |
Conformité | CE, ISO |
Garantie | Garantie limitée de 18 mois avec support technique à vie |
Nom de l'article | Le nombre d'heures d'essai est le suivant: | Le nombre d'heures d'essai est le suivant: | Le nombre d'heures de travail |
Longueur de chauffage | 440 mm | 440 mm | 440 mm |
Taille du tube | OD40xL800 mm | OD80xL1000 mm | OD100xL1000 mm |
Le pouvoir | 4 kW | 7 kW | 8 kW |
Poids net | 108 KGS | 275 KGS | 360 KGS |