1700C haute température 3 zones laboratoire CVD four à vide avec tube d'aluminium OD60mm

Vue d'ensemble du produit

Le PTC D60/600/17/3 est un four à tubes à trois zones OD de 60 mm certifié CE avec bride d'étanchéité à vide complète.Chaque zone de chauffage est de 12 " de longueur et contrôlée par trois 30 segments de précision de contrôleurs de température numériques indépendammentUne zone (zone centrale) est chauffée par des éléments Super-1800 MoSi2 jusqu'à 1700°C, et deux autres zones sont chauffées par des éléments SiC jusqu'à 1400°C.Le four à tubes peut créer les différents gradients thermiques en réglant trois zones de températureC'est un excellent four pour préparer des matériaux fonctionnels sous gradient thermique, et peut également être utilisé pour la croissance du film épitaxial par CVD.

Principales caractéristiques

• Plage de température de travail de 1200°C à 1700°C
• Structure en acier double, perte de chaleur minimale; trois zones de chauffage, contrôlées indépendamment
• 990,6% de tube en aluminium avec des brides d'étanchéité à refroidissement par eau SS304 à ouverture rapide
• Des éléments de chauffage MoSi2 puissants assurent une température uniforme
• Chambre isolée par fibre pour une stabilité et une homogénéité maximales en température
• Contrôleur PID numérique avec 30 segments programmables
• Ensemble individuel d'appareils d'alimentation en gaz, disponible pour le mélange de gaz avec Ar, N2 CO, H2 etc.
• Thermocouple à longue durée de vie de type B
• Certifié CE

Mesures de sécurité

• Ampère intégré et double voltmètre pour une surveillance et un dépannage faciles.
• La protection contre la surchauffe éteint le four si la température dépasse la plage acceptable (voir le manuel du contrôleur) ou si le thermocouple est cassé ou défectueux.
• La protection contre les pannes de courant reprend le fonctionnement du four immédiatement après le point de panne lorsque le courant est rétabli.
• Le contrôle PID basé sur le microprocesseur fournit un processus thermique optimal avec un dépassement minimal

Détails du produit

Forneau à tubes sous vide CVD à haute température à trois zones à 1700°C

• Le four à tubes CVD à haute température 1700C est principalement composé de cinq parties: corps du four, tube du four, accessoires d'étanchéité de la bride, système d'alimentation en gaz,système de vide et système de régulation de la température
• La coque extérieure en acier du four est traitée par décapage et phosphatation, revêtement en poudre d'environnement sur la surface, résistance à la corrosion et à l'oxydation, ventilateur de refroidissement intégré,température de surface Rt+45°C
• Conformité ISO et CE

Profil de chambre pour un four à tubes à haute température CVD à 3 zones à 1700 °C

• Isolement en céramique à haute teneur en aluminium, gravure CNC, raccordement étroit des parois de la chambre, chauffeur MoSi2 de type U, résistant à la température jusqu'à 1800C
• longueur de chauffage 600 mm, adapté pour le tube d'alumine de diamètre 60 mm. tube de traitement de l'alumine de haute résistance à la température jusqu'à 1700 °C,La partie critique de la zone de chauffage à l'intérieur du tube de four est équipée de la prise de tube en céramique, ce qui empêche efficacement la chaleur de s'échapper et réduit les pertes de chaleur.
• Thermocouple de type B

Flange d'ouverture rapide, soutiens de tuyaux de four, buse à gaz de pagode de 1/4 ", pompe à vide

• Équipé d'accessoires de brides de refroidissement à eau à ouverture rapide SS304 pour le chargement et le déchargement rapides de matériaux, scellés avec des anneaux de scellage en caoutchouc fluoré résistant à haute température
• L'entrée et la sortie d'air adopte une buse d'air de pagode G1/4 pouces, qui peut être connectée à un tuyau en PTFE d'un diamètre extérieur de 8 mm. Le vide maximal peut atteindre 10*-7torr
• Unité de pompe moléculaire connectée avec KF25, assurez-vous que le niveau de vide atteint 10*-5mbar

Programme de chauffage pour un four à tubes à haute température à 1700 °C

• 30 segments programmables, température de chauffage de 1 à 10 °C/min, réglée librement
• Bonne isolation thermique, refroidissement naturel, refroidissement doux
• 7 "écran tactile est optionnel, les programmes de chauffage peuvent être affichés en temps opportun, et téléchargés

TSpécifications techniques

Notes sur la demande

• La pression du tube de traitement doit être inférieure à 0,02 MPa
• La source de gaz doit équiper la vanne réductrice de pression
• Avant de remplir les gaz de réduction comme H2, devrait pomper l'air hors du tube
• Lorsque vous remplissez les gaz de l'entrée de gaz dans le tube, vous devez vous assurer que la vanne de sortie de gaz est ouverte

Comparaison de taille